靜電對(duì)集成電路的傷害 集成電路車間除靜電加濕器
發(fā)布時(shí)間:2023-02-11 點(diǎn)擊次數(shù):339次靜電對(duì)電子行業(yè)的影響很大,特別是集成電路的生產(chǎn)。首先我們知道靜電放電對(duì)集成電力的影響很大,會(huì)擊毀擊穿電路模塊,導(dǎo)致集成電路報(bào)廢,當(dāng)然也有可能是元器件受到靜電放電的影響后,不會(huì)立即出現(xiàn)功能性的損壞,但會(huì)影響元器件的可靠性,導(dǎo)致參數(shù)性能下降,影響使用壽命。
其次就是產(chǎn)生靜電磁場(chǎng),造成電子干擾。靜電放電會(huì)輻射出很多的無線電波,而這些電波都是有頻率的,會(huì)干擾周邊的微處理器造,比如會(huì)出現(xiàn)混亂的程序指令、混亂的資料、不明的錯(cuò)誤信息等等,這些問題不會(huì)立馬表現(xiàn)出來,但一旦出現(xiàn)故障它帶來的危害將是巨大的。
還有靜電吸附灰塵,會(huì)降低集成電路解決車間的潔凈度。潔凈室里面不可能一?;覊m都沒有,但是我們可以把灰塵顆粒的直徑控制好,比如要求灰塵顆粒粒徑由原來的0.3μm降低到現(xiàn)在的0.1μm,但如果吸附的灰塵粒子的粒徑大于線條寬度時(shí),很容易使產(chǎn)品報(bào)廢。
所以潔凈室的防靜電工作很重要,集成電路生產(chǎn)車間的防靜電工作除了穿防靜電服、穿戴防靜電手套、穿防靜電鞋外,運(yùn)輸工具也要是防靜電的,以及噴涂防靜電涂料,還需要做好控制空氣濕度的工作,把空氣濕度控制在50-55%RH之間,這樣可以很好的消除靜電電荷,起到防靜電的目的。
因此需要在集成電路的潔凈室配置QS-9系列濕膜降塵加濕機(jī)來控制空氣濕度,確保機(jī)場(chǎng)電路潔凈室的空氣濕度不會(huì)過低,只要把空氣濕度控制在50-55%RH之間,這樣不但可以防靜電,降低靜電對(duì)灰塵、微生物的吸附能力,還有一定的降塵能力,可以保證無塵室的潔凈度,確保生產(chǎn)不會(huì)被靜電灰塵影響,可以順利進(jìn)行。